ФФКМ є високоефективним ущільнювальним матеріалом. Його відмінні характеристики дозволили застосувати його в усій системі виробництва напівпровідникової продукції. Серед них ущільнювальні кільця ФФКМ є одними з основних витратних матеріалів, необхідних для виробництва інтегральних схем.
будову та експлуатаційні характеристики ФФКМ
FFKM кополімеризується тетрафторетиленом (TFE), перфторалкілвініловим ефіром (PAVE) як основними мономерами та невеликою кількістю мономеру точки затвердіння (CSM). Як показано на малюнку нижче, усі атоми вуглецю в полімері. Атоми водню в каучуку замінені атомами фтору, що робить каучук, який взагалі не містить CH-зв’язків.
Основні характеристики ФФКМ:
1) Фізичні властивості
Щільність FFKM становить 1.9-2.0г/см³. Його механічні властивості при нормальній температурі близькі до властивостей фторкаучуку (FKM) на основі вініліденфториду (VDF), але механічні властивості при високій температурі кращі, ніж у фторкаучуку.
2) Хімічна стійкість
У молекулярному ланцюзі FFKM немає атомів водню, а зв’язки CC в основному оточені оболонкою, що складається з атомів F, що демонструє сильну хімічну інертність і робить полімер значно стійкішим до хімічних речовин.
3) Стійкість до високих і низьких температур
Робоча температура FFKM, як правило, становить 260~290 градусів і може використовуватися з перервами при високих температурах 316 градусів. Оскільки в розгалужені ланцюги молекул вводиться велика кількість груп -OCF3, покращується гнучкість молекул і підвищується стійкість каучуку до низьких температур.
4) Плазмостійкість
У плазмовому середовищі він демонструє такі характеристики продукту, як висока чистота та низька кількість опадів, і може витримувати плазмове бомбардування протягом тривалого часу.
Застосування фФКМ в напівпровідниках
У виробництві напівпровідників надійність еластомерних ущільнень має вирішальне значення, оскільки зупинка виробництва для заміни ущільнень надзвичайно дорога. Щоб уникнути потенційних ризиків, вимоги до чистоти пломб дуже суворі. У той же час, ущільнення повинні бути здатні працювати протягом тривалого часу в середовищі високої температури, високого вакууму та корозійних хімічних газів.
Що стосується напівпровідникових застосувань, FFKM головним чином зосереджується на:
1) Газове ущільнення: у процесі виробництва напівпровідників важлива обробка та транспортування різних газів. Ущільнювальні кільця FFKM використовуються для ущільнення газопроводів, клапанів і з'єднань, щоб забезпечити відсутність витоку газу та підтримувати стабільність процесу.
2) Травлення та очищення. Етапи травлення та очищення в напівпровідникових процесах часто передбачають використання корозійних середовищ, таких як сильні кислоти або луги. Ущільнювальні кільця FFKM широко використовуються в частинах обладнання, які контактують із цими середовищами, наприклад, у камерах для травлення, очисних резервуарах тощо завдяки їх чудовій стійкості до корозії.
3) Транспортування рідини та хімікатів: у виробництві напівпровідників необхідно транспортувати різні рідини та хімікати, такі як розчини, розчинники, очищувальні рідини тощо. Ущільнювальне кільце FFKM можна використовувати для ущільнення компонентів обладнання, таких як труби, клапани та насоси, щоб забезпечити безпечна доставка носіїв.
4) Високотемпературне середовище: Певні кроки в напівпровідниковому процесі необхідно виконувати у високотемпературному середовищі, наприклад термічна обробка, відпал тощо. Ущільнювальні кільця FFKM мають відмінну стійкість до високих температур і здатні зберігати свою еластичність і герметичність. властивості при високих температурах.
5) Очищення надчистої води: у виробництві напівпровідників надчиста вода використовується для очищення та очищення обладнання та матеріалів. Ущільнювальні кільця FFKM широко використовуються для ущільнення обладнання для обробки надчистої води, щоб запобігти проникненню домішок і забруднень.
Через високу вартість гумової сировини FFKM робочі умови, де зазвичай використовуються ущільнювачі FFKM, надзвичайно суворі. За таких суворих умов роботи інші каучуки схильні до корозії, набухання, розчинення, старіння та твердіння тощо, що призводить до порушення ущільнення, і тому не може відповідати вимогам до ущільнення. Завдяки відмінній корозійній стійкості та стійкості до високих температур гума FFKM може не тільки задовольнити вимоги до ущільнень у суворих умовах роботи, але й збільшити термін служби ущільнень і знизити витрати клієнтів на обслуговування.
