про сухе травлення Тел.:+86-0592-5803997

Сухе травлення, також відоме як плазмове травлення, використовує високоенергетичну плазму для видалення матеріалу з поверхні пластини. Плазма складається з хімічно реактивних іонів і вільних радикалів, які бомбардують пластину, розриваючи молекулярні зв’язки матеріалу та спричиняючи їх витравлювання. Методи сухого травлення включають реактивне іонне травлення (RIE), плазмове травлення та іонне травлення. Сухе травлення дозволяє краще контролювати процес травлення, забезпечує вищу роздільну здатність і дозволяє травити більш складні структури

R32, також відомий як дифторметан, є високоефективним газом для травлення, який широко використовується в процесах плазмового травлення в електронній промисловості. Крім того, це видатна охолоджуюча рідина, яка не руйнує озоновий шар і широко використовується в холодильному обладнанні, такому як кондиціонери повітря, холодильники та автомобільні кондиціонери. Застосування цієї екологічно чистої охолоджуючої рідини не тільки гарантує, що ми робимо свій внесок у захист навколишнього середовища, але й гарантує, що ми можемо підтримувати оптимальну температуру для наших пристроїв, працюючи з максимальною ефективністю. R32 справді представляє чудове рішення, яке відповідає різноманітним потребам сучасної галузі.

Характеристики травного газу дифторметан R32

Оскільки травильний газ впливає на продуктивність, інтеграцію, продуктивність та інші ключові показники інтегральних схем, існують високі вимоги до чистоти електронного газу. Через значні труднощі процесу електронний газ став другим за величиною матеріалом, а його вартість поступається лише кремнієвим пластинам.

Газ дифторметан R32 є важливим газом для травлення в процесі плазмового травлення в електронній промисловості. Нижче наведено характеристики R32:

Модель №	R32	Зовнішній вигляд	Безбарвний
Насичення жиру вуглеводнями	Алкан	Молекулярна формула	CH2F2
Молекулярна маса	52.02	Критичний тиск (МПа)	5.80
Точка кипіння (градус)	-51.70	Щільність (30 градусів)	0.958
ODP	0	застосування	Холодоагент для кондиціонера, холодоагент R32
GWP	675	Упаковка	Одноразовий циліндр/циліндр багаторазового використання/цистерна ISO
№ класу	2.1	Чистота	99.9%~99.99%
Un No.	3252	Походження	Китай